Ein Konzept zur Hetero-Integration von SiGe mit GaAs für einen hochauflösenden Radarsensor bei 300 GHz

Nils Pohl, Florian Vogelsang, Andries Küter, Rainer Weber, Arnulf Leuther, Marta Arias Campo, Harald Sikora, Klaus Aufinger

in Proc. Mikrosystemtechnikkongress, Berlin, Germany, Oct. 28-30, 2019.

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